Interconnection development for InP-HBT terahertz circuits

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Bibliographic Details
Author / Creator:Stoppel, Dimitri.
Imprint:Göttingen : Cuvillier Verlag, 2020.
Description:1 online resource (157 pages)
Language:English
Series:Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik ; v. 58
Innovationen mit Mikrowellen und Licht. Forschungsberichte aus dem Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik.
Subject:
Format: E-Resource Book
URL for this record:http://pi.lib.uchicago.edu/1001/cat/bib/12651001
Hidden Bibliographic Details
ISBN:3736962045
9783736962040
Notes:Print version record.
Other form:Print version: Stoppel, Dimitri. Interconnection development for InP-HBT terahertz circuits. Göttingen : Cuvillier Verlag, ©2020 9783736972049
Table of Contents:
  • Intro
  • 1. Introduction
  • 2. InP HBT transferred-substrate process
  • 3. Plasma etching of benzocyclobutene
  • 4. Nickel chrome thin film resistors
  • 5. Through silicon vias in atransferred-substrate process
  • 6. Summary
  • List of Figures
  • List of Tables
  • Bibliography
  • Appendix A Publications
  • Appendix B Acronyms